【摘 要】
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随着科技的快速发展,精密仪器在半导体等产业的应用日益广泛,微振动也成为影响其产品合格率的主要因素,防微振技术也随之应运而生。本文主要研究利用新型结构设备——砂箱隔振器,来解决微振动对精密仪器的影响。通过时程曲线分析了砂箱隔振器在低频环境微振动下的隔振效果,确定了砂箱隔振器在不同环境微振动下最适合的填充材料。
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随着科技的快速发展,精密仪器在半导体等产业的应用日益广泛,微振动也成为影响其产品合格率的主要因素,防微振技术也随之应运而生。本文主要研究利用新型结构设备——砂箱隔振器,来解决微振动对精密仪器的影响。通过时程曲线分析了砂箱隔振器在低频环境微振动下的隔振效果,确定了砂箱隔振器在不同环境微振动下最适合的填充材料。
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