【摘 要】
:
<正> 本世纪六十年代中期前半导体基片抛光还大都沿用机械抛光,例如氧化镁、氧化锆、纯氧化铬等方法,得到的镜面表面损伤是极其严重的.1965年Walsh和Herzog提出SiO2溶胶(Silic
【机 构】
:
天津化学试剂一厂,天津化学试剂一厂,天津化学试剂一厂
论文部分内容阅读
<正> 本世纪六十年代中期前半导体基片抛光还大都沿用机械抛光,例如氧化镁、氧化锆、纯氧化铬等方法,得到的镜面表面损伤是极其严重的.1965年Walsh和Herzog提出SiO2溶胶(Silica sol)和凝胶(Silica gel)抛光后,以二氧化硅为代表的化学机械抛光工艺就逐渐代替旧方法,目前国外最先进的硅片生产线均使用二氧化硅抛光方法.二硅化硅溶胶或凝胶抛光液的基本形式是由一个SiO2抛光剂和一个碱性组份水溶液组成.SiO2颗粒要求范围为10~150毫微米,碱性组成一般使用NaOH、氨或有机胺,pH值为9.5~11.0.SiO2浓度为1.5%~50%.
其他文献
通过对中国画尚意传统形成、发展过程和中国画创作和品评中"意"、"形"、"法"、"笔墨"等美学范畴的分析和解读,提出了中国画尚意传统的精神实质、文化品性与形式特征及其在中
新中国成立以来,我国义务教育的课程结构在不断地发生着变革。地方课程和校本课程的逐步开设体现了地方和学校的课程权力有所提升,综合课程的普遍设立也有利于发挥教师和学生
涉外社区是我国改革开放发展的产物。对我国境内数目庞大、日益增多的外国人实施有效监督、管理和控制,是我国社会治安工作中面临的一个新挑战。而涉外社区作为外国人的集结
随着电力行业的发展,故障的种类逐渐增多,必须及时加以处理,将故障的损失控制到最小的范围内。因此,电力企业需要积 极引进先进技术,提高设备的稳定性和安全性;不断加强管理,
非酒精性脂肪性肝病是世界范围内最常见的一种慢性肝病,胰岛素抵抗是其主要的发病原因之一,但其具体发病机制尚不十分明确。近年研究发现影响胆汁酸核受体的措施具有改善胰岛素
随着计划生育及优生工作的进一步开展,中期妊娠引产在各级医院中都占有一定的比例,初产妇引产的比例也在上升,中期妊娠引产已有多种比较成熟的方法。由于初孕妇紧张、恐惧心理使
当前全世界约有20亿人遭受过乙型肝炎病毒(HBV)的侵袭,其中有3.5亿发展成慢性HBV感染者。慢性乙型肝炎可发展为肝硬化和肝癌,全球每年约有100万人死于HBV感染相关的疾病。我国为乙
油品性质不同则对抗氧剂的感受性差异较大。结合油品氧化机理讨论了化学组成、碱洗、催化剂的性质、深度稳定和储存条件等因素对催化裂化汽油诱导期的影响。根据抗氧剂的作用
为了掌握基坑开挖施工阶段地下水非稳定渗流规律及施工阶段对土体地下水孔压影响,建立了基坑开挖阶段地下水渗流的三维有限元分析模型。通过对基坑开挖阶段地下水渗流场的三维