【摘 要】
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本文报导了一种VMOS管(VMOST)及其制造方法。并从理论上分析了这种短沟VMOST的阈值电压,指出了工艺上的控制方法。介绍了VMOS短沟道器件具有高击穿电压高截止频率的优点。并
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本文报导了一种VMOS管(VMOST)及其制造方法。并从理论上分析了这种短沟VMOST的阈值电压,指出了工艺上的控制方法。介绍了VMOS短沟道器件具有高击穿电压高截止频率的优点。并可以用作功率器件。
This paper reports a VMOST tube and its manufacturing method. The threshold voltage of VMOST is analyzed theoretically, and the control method of the process is pointed out. The advantages of high breakdown voltage and high cut-off frequency of VMOS short-channel devices are introduced. And can be used as a power device.
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