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Fabry-Parot平面扫描干涉仪和球面扫描干涉仪的设计制造
Fabry-Parot平面扫描干涉仪和球面扫描干涉仪的设计制造
来源 :四川激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qi_anwei1986
【摘 要】
:
平面和球面激光扫描干涉仪包括扫描干涉仪头(光学机械部分),锯齿波信号发生器,光电接收器和放大器。主要机械结构件采用低膨胀系数的因瓦合金,光学件用熔石英,压电扫描元件用PZT压
【作 者】
:
王伟祥
徐发忠
李宁
张可非
【机 构】
:
中国科学院长春光机所
【出 处】
:
四川激光
【发表日期】
:
1981年A02期
【关键词】
:
扫描干涉仪
设计制造
球面
平面
PZT压电陶瓷
机械部分
信号发生器
光电接收器
低膨胀系数
因瓦合金
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平面和球面激光扫描干涉仪包括扫描干涉仪头(光学机械部分),锯齿波信号发生器,光电接收器和放大器。主要机械结构件采用低膨胀系数的因瓦合金,光学件用熔石英,压电扫描元件用PZT压电陶瓷圆筒。F-P镜片的安装采用可折卸式,
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