【摘 要】
：
提出改变碱液腐蚀单晶硅表面特性的一个简单方法,即在碱液中加入活性剂改变碱液在硅表面的润湿性能从而改变其腐蚀特性。分别采用普通碱液、四甲基氢氧化铵(tetramethylammon
【机 构】
：
上海交通大学物理系,上海航天技术研究院,上海航天技术研究院811所,
论文部分内容阅读
提出改变碱液腐蚀单晶硅表面特性的一个简单方法,即在碱液中加入活性剂改变碱液在硅表面的润湿性能从而改变其腐蚀特性。分别采用普通碱液、四甲基氢氧化铵(tetramethylammonium hydroxide,TMAH)溶液和加入阴离子有机氟表面活性剂的普通碱液腐蚀硅表面。结果发现:普通碱液和TMAH腐蚀液腐蚀的硅表面的金字塔大小差异大、有许多蜂窝状的小金字塔,反射率较高;用加入阴离子有机氟表面活性剂的普通碱液腐蚀的单晶硅表面,能形成比较规则的金字塔,金字塔尺寸为4～6μm、均匀性好、覆盖率高、表面反射率下降到12.65%。有机氟表面活性剂能提高硅在碱中腐蚀速率,有效调控单晶硅金字塔形貌、大小与分布,为精确调控单晶硅表面微结构提供了可能。
其他文献
在已经形成一种竞争战略的不断扩大的企业人力资源外包这一大背景下,传统的劳动机制由于太过单一而面临着严峻的挑战。为了寻求发展,必须对企业承担劳动保障责任的新机制进行
近年来,以胶体纳米晶半导体材料作为构建部分的第三代太阳能电池(又称为量子点太阳能电池)一直是研究的热门课题。胶体量子点在太阳能电池中应用之所以备受关注,是由于其具有
职业适应性对于职业初期人员的工作绩效和未来发展具有重要影响。高校辅导员的"双重身份"定位,使辅导员职业初期职业适应性发展任务变得繁重。通过对高校辅导员职业初期职业
<正>在重庆,有个独一无二的蜂糖村,村里有个特有名的"蜂糖院子"。它坐落在重庆市荣昌县盘龙区石田乡,东靠龙集镇观音岩水库,西边紧靠石田乡杨家河,南靠廖家河,北靠广盘二级公
论述多元模糊回归预测模糊的建模方法 ,探讨该预测模型在第二代玉米螟百株卵量种群动态上的应用。研究结果表明 ,该预测模型为农业害虫种群动态的中长期预测预报提供了一种新
背景与目的:化疗是内科治疗结肠癌的主要方法之一,热化疗改善患者机体免疫状态的机制尚不清楚。本研究通过观察结肠癌患者化疗/热化疗前后CD4+CD25+调节性T(Treg)细胞及细胞
利用超声测试装置连续追踪桐油–石灰传统灰浆的早期结构形成过程,并通过X射线衍射仪和扫描电子显微镜分析了桐油–石灰传统灰浆碳化过程中反应产物的种类、数量与组织形貌。
研究观测数据为模糊数据的统计线性回归模型 ,由该模型所得回归系数非模糊 ,易于应用。对于对称三角模糊数据一元线性回归给出最优解的解析表达式 ;将对称三角模糊数多元线性
通过基于逆向工程和快速原型技术的三维模型重构方法,对汤匙表面数字化,实现实体→三维数据→三维模型→实体模型的过程。通过手持式三维激光扫描仪对汤匙表面进行数字化测量
刑法分则中有5个条文涉及到＂本法另有规定,依照规定＂条款,宜采取类型化的方法论加以解释。人身危险犯罪中的＂另有规定＂条款,仅仅是一种指示性条款,意在提醒司法人员注意不要忽视