多离子束材料表面改性层研究

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多离子束(简称MIB)是离子注入发展起来的材料表面改性高技术,工膜具经MIB处理后现场使用寿命可提高2~4倍。材料经MIB处理后改性层的硬度明显提高、摩擦系数减小、耐磨性增强;改性层是由(Ti_3N+TiN)、(αFe+TiN)、(αFe(N)+Cr_7C_3)三层次组成,与基体间附着性好、晶粒细化呈纳长相。
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