【摘 要】
：
三维微纳米台阶光学显微测量信息为多维形貌数据,其数据量庞大复杂、多维相关性低、表征难度大,且通常存在测量坏点影响关键尺寸表征精度.本文提出了一种三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征方法.首先,针对三维微纳米台阶的结构特征选取测量系统并设计测量方法,获取其三维形貌点云数据信息;其次,建立三维形貌实测数据维度重构方法,将复杂的多维面形数据降维至有序二维空间;基于K-means聚类算法和数据映射,创建台阶高度参数量化表征模型,实现识别离群值的同时将二维数据点集中的质心距离映射为台阶高度值;最后,通过迭代收敛
【机 构】
：
上海大学机电工程与自动化学院,上海200444;中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018
论文部分内容阅读
三维微纳米台阶光学显微测量信息为多维形貌数据,其数据量庞大复杂、多维相关性低、表征难度大,且通常存在测量坏点影响关键尺寸表征精度.本文提出了一种三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征方法.首先,针对三维微纳米台阶的结构特征选取测量系统并设计测量方法,获取其三维形貌点云数据信息;其次,建立三维形貌实测数据维度重构方法,将复杂的多维面形数据降维至有序二维空间;基于K-means聚类算法和数据映射,创建台阶高度参数量化表征模型,实现识别离群值的同时将二维数据点集中的质心距离映射为台阶高度值;最后,通过迭代收敛设计,进一步提高算法表征的准确度和鲁棒性.对两种微纳台阶标准物质进行实验,结果表明,在测量存在离群值等坏点情况下,本方法能够高精度表征出台阶高度参数,与校准值比对,误差小于1.5％.
其他文献
铜渣是炼铜、湿法炼锌等工业生产过程中产生的一种高硅、高铁工业废弃物,其有价组分繁多,是极具潜力的二次资源.本文结合近年来国内外最新研究进展介绍了铜渣中有价组分的提取回收现状,包括铜贫化回收、铁回收以及其他有价组分的回收;同时综述了利用铜渣制备玻璃陶瓷材料、建筑材料等高附加值产品的进展;总结了目前铜渣的利用状况并指出了仍存在的问题,展望了其应用发展前景.
硫化矿、红土镍矿和海底含镍锰结核是世界上主要的三类镍资源,但海底含镍锰结核难以开采利用,硫化矿资源也日益枯竭,从红土镍矿中提取镍已成为目前重要的研究方向.本文结合近年来红土镍矿处理工艺的研究成果,着重阐述了火法处理工艺(小高炉冶炼工艺和RKEF工艺等)、湿法处理工艺(常压酸浸、加压酸浸等)、火法湿法联合工艺(还原焙烧-磁选等)的研究新进展,并展望了红土镍矿未来的发展方向.
为了进一步提高Al2O3-SiC-C铁沟浇注料的性能,以特级矾土、棕刚玉、SiC、Al2O3微粉、白刚玉、硅微粉、97硅粉、Si3N4粉为主要原料,以高铝水泥为结合剂,制备了铁沟浇注料,研究了 Si3N4加入量对铁沟浇注料性能的影响.结果表明:添加Si3N4可使浇注料在高温下具有更优异的机械性能、抗热震性和良好的抗氧化性;另一方面由于材料在烧结过程中生成了 β-赛隆相,并与刚玉紧密结合,使试样结构致密,提高了材料的抗渣性能.
探索有效教学方法是提高大学课堂教学效果的重要途径.本论文以激发学生学习的主动性为出发点,探讨以学生为主体、教师为主导的多样有效教学方法,提高《化学的今天与明天》通识课程教学的实效性,达成课程教学目标.通过教学方法的创新与实践,促使学生了解化学学科的基本研究模式和思维方法,提高学生的科学素养.
聆听了辛保安董事长的工作报告,我备受鼓舞.作为一名基层员工,我将用实际行动贯彻落实会议精神,践行人民电业为人民企业宗旨,脚踏实地做好各项工作,多为客户办实事、解难题.rn坚守初心,崇德向善,发挥党员模范带头作用和共产党员服务队“五个服务”作用,积极参与“绿光计划”志愿服务活动,把满足客户用电需求作为头等大事.
面向浸没式光刻机双工件台的超精密位置测量应用需求,提出了一种超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统.给出了测量系统的原理与方案设计、系统各部件的设计及制造、编码器测量原理推导及实验验证等.所设计平面光栅编码器位移测量系统的相位卡的细分率为4096,测量分辨率为x50 pm/z25 pm.实验结果表明:该平面光栅位移测量系统可实现x向和z向位移的同时测量,z向运动行程为±1 mm,满足光刻机双工件台的垂向调焦需求;Rx/Ry/Rz单轴转动或三轴联合转动极限转角为±1.5 mrad时,交流信号质
基于光场成像理论的三维腹腔镜是实现腹腔三维成像的重要研究方向,标定是光场腹腔镜实现三维成像的基础.针对光场带宽积与较小的光场视差会制约三维光场腹腔镜标定精度提升的问题,提出了一种视差放大方法,将直接计算光场视差的问题转换为间接计算两个特征点的距离问题,较大的特征点间距在光场图像中体现为易于检测的点-点间距和点-线间距,从根本上提高了光场腹腔镜的标定精度;基于SRDenseNet的改进型超分辨率网络,整合通道注意力机制,同时提高了光场腹腔镜四维成像的角度分辨率与位置分辨率,间接地提高了光场腹腔镜的标定精度.
辛保安董事长的报告以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,深入学习贯彻党的十九届六中全会、中央经济工作会议精神,紧扣“一体四翼”发展布局,服务国家重大战略,确保电网安全运行和电力可靠供应,推进新型电力系统建设,对金融业务高质量发展提出了新要求.
2005年2月16日,湖南经受一场寒潮冻雨,电网受损,断线倒塔.当时,36岁的陆佳政是国网湖南省电力有限公司的一名科研骨干,研究重心在发、输、变电设备的状态监测与检修技术上.没承想,一场冰灾让他开始了半生的“破冰之旅”.尔后,因为2010年的一场山火,他又投身到防山火的事业中.
1968年,王伟胜出生在山西省平顺县.父亲时常教育他:“人必须勤奋,要吃得了苦.”这句话也陪伴他走过了人生中许多艰辛的岁月.一路求学,从大学到博士,王伟胜相信知识改变命运,越发专注和热爱所学.“我和全国劳模、共和国勋章获得者申纪兰是老乡.”王伟胜对此颇为自豪,“劳模不劳动,还叫什么劳模?科研人不勤奋,还怎么搞科研?”在他看来,艰苦奋斗、脚踏实地的“纪兰精神”,让从事科研工作的他受益匪浅.