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新型结构式加速度传感器
新型结构式加速度传感器
来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lijingbo1985
【摘 要】
:
利用硅材料驻极体电容制成的结构式加速度传感器是一种针对结构分析,模态试验而设计的振动加速度传感器,其工作频率范围1Hz-1kHz,加速度灵敏度〉50mV,重量〈5g。
【作 者】
:
谷毅
【机 构】
:
中国计量科学研究院
【出 处】
:
计量技术
【发表日期】
:
1997年9期
【关键词】
:
传感器
硅材料
驻极体电容
加速度计
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利用硅材料驻极体电容制成的结构式加速度传感器是一种针对结构分析,模态试验而设计的振动加速度传感器,其工作频率范围1Hz-1kHz,加速度灵敏度〉50mV,重量〈5g。
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