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利用硅材料驻极体电容制成的结构式加速度传感器是一种针对结构分析，模态试验而设计的振动加速度传感器，其工作频率范围１Ｈｚ－１ｋＨｚ，加速度灵敏度〉５０ｍＶ，重量〈５ｇ。
新型结构式加速度传感器
【摘 要】
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利用硅材料驻极体电容制成的结构式加速度传感器是一种针对结构分析，模态试验而设计的振动加速度传感器，其工作频率范围１Ｈｚ－１ｋＨｚ，加速度灵敏度〉５０ｍＶ，重量〈５ｇ。
【机 构】
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中国计量科学研究院
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1997年9期
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