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测试和控制薄膜的厚度是制备高质量薄膜材料的重要步骤之一。本文根据光谱透过率波动曲线与薄膜厚度间的内在联系,基于曲线拟合方法设计开发了一款计算软件,该程序能读取测试光谱数据并自动计算出薄膜厚度和折射率,程序计算结果与台阶仪测试结果吻合较好,证明本文所开发的软件是正确有效的。
基于紫外-可见透过谱的薄膜厚度计算研究
【摘 要】
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测试和控制薄膜的厚度是制备高质量薄膜材料的重要步骤之一。本文根据光谱透过率波动曲线与薄膜厚度间的内在联系,基于曲线拟合方法设计开发了一款计算软件,该程序能读取测试
【机 构】
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成都信息工程学院网络工程学院,成都信息工程学院光电技术学院
【出 处】
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西华大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2010年6期
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