Observations on Defects in Zone-melting-recrystallized Si Films

来源 :Rare Metals | 被引量 : 0次 | 上传用户：tina_xu

【摘要】

：

We have observed some kinds of defects in unseeded rapid zone-melting-recrystallized（RZMR）Si filmsformed with a RF-induced graphite strip heater system,using cros

【作者】

：

刘安生邵贝羚袁建明

【机构】

：

GeneralResearchInstituteforNon-ferrousMetalsBeijing100088,China,GeneralResearchInstituteforNon-ferro

【出处】

：

Rare Metals

【发表日期】

：

1992年2期

【关键词】

：

SILICON on insulator(SOI) Zone-melt-recrystallization(ZMR) SILICON film Subgrain

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

We have observed some kinds of defects in unseeded rapid zone-melting-recrystallized（RZMR）Si filmsformed with a RF-induced graphite strip heater system,using cross-section specimen electron microscope.Theobserved defects are subgrain boundaries（SGB）,dislo

其他文献

浅谈森林防火靴的研制

本篇文章主要分析了研制是森林防火靴的特点和结构性能,针对运用的工艺进行了研究。通过实验分析得知符合要求的技术性指标为:防滑性:鞋底防滑系数0.15μ;防穿刺:抗穿刺力Ⅰ

期刊

森林防火靴防火材料研制

沙漠车驾驶室设计初探

作者根据沙漠车的特殊工作环境,提出了沙漠车驾驶室的设计要求。在设计沙漠车双排座驾驶室的过程中,着重叙述了密封性、隔热性和安全性三个方面。该驾驶室是以“东风车”双排

期刊

沙漠车驾驶室设计

Models for the Formation and Dispersion of Potassium-filled Bubbles in Doped Tungsten Wire

The evolution course of potassium-filled pores during the production and annealing of tungsten wire was observed systemat-ically by SEM and TEM, and the basic p

期刊

FILLEDTUNGSTENPOTASSIUMannealingmetallicshapedDISPERSIONporesDISTURBANCE

轴对称非球面轨迹包络磨削中砂轮对刀误差分析

硬脆材料的轴对称非球面光学零件所具有的回转曲面，既需要达到很低的表面粗糙度值又要有很高的几何形状精度，采用轨迹包络磨削加工是达到其精度要求的重要工艺方法。轨迹包络磨

期刊

轴对称回转非球面母线对刀误差轨迹包络磨削法axisymmetric asphericgeneratrixtool setting errorsarc e

苏丹的古王国遗址

<正>There are two sites of world cultural heritage in Sudan, namely the Gebel Barkal and the Sites of the Napatan Region, which was listed by the UNESCO in 2003

期刊

阿蒙神庙尼罗河纳帕塔麦罗埃

一种2-DOF类球面并联转台的动力学建模及分析

2自由度并联转台凭借其运动方式的特殊性,提高了传统转台在大负载、高速度、高加速度及大范围转动条件下的运动性能,具有广阔的应用前景。显然,精确的动力学模型是实现其高速

期刊

并联机构运动学动力学拉格朗日法

现代轿车的车轮定位及检测

介绍了现代轿车车轮定位的状况,分析了车轮定位不准对行车的影响,说明了车轮定位检测的时机和方法.

期刊

轿车车轮定位检测方法行车安全modern car wheel orientation inspection

论行政公益诉讼中检察机关的举证责任

新修改的《行政诉讼法》确立了人民检察院提起行政公益诉讼的制度。检察机关在诉讼中作为与被告行政机关相对的法律地位。由于其不同于另外两大诉讼特殊的诉讼模式,使得检察