【摘 要】
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目前国内外在各种金属上电镀、蒸镀Cr或Cr、Au,是因为Cr耐磨损、抗腐蚀,与稀酸作用缓慢,与被镀件结合力强,有力地保护被镀件,提高被镀件的使用寿命。外延后的GaAs衬底解理成激光器
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目前国内外在各种金属上电镀、蒸镀Cr或Cr、Au,是因为Cr耐磨损、抗腐蚀,与稀酸作用缓慢,与被镀件结合力强,有力地保护被镀件,提高被镀件的使用寿命。外延后的GaAs衬底解理成激光器之前,要进行光刻,把镀在P型GaAs外延片刻沟槽处的Cr去掉。本文介绍在GaAs激光器的P型外延层上蒸镀Cr和Au的工艺及去除Cr的新工艺。
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