【摘 要】
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目前国内外在各种金属上电镀、蒸镀Cr或Cr、Au，是因为Cr耐磨损、抗腐蚀，与稀酸作用缓慢，与被镀件结合力强，有力地保护被镀件，提高被镀件的使用寿命。外延后的GaAs衬底解理成激光器
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目前国内外在各种金属上电镀、蒸镀Cr或Cr、Au，是因为Cr耐磨损、抗腐蚀，与稀酸作用缓慢，与被镀件结合力强，有力地保护被镀件，提高被镀件的使用寿命。外延后的GaAs衬底解理成激光器之前，要进行光刻，把镀在P型GaAs外延片刻沟槽处的Cr去掉。本文介绍在GaAs激光器的P型外延层上蒸镀Cr和Au的工艺及去除Cr的新工艺。
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