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使用ＨＲＥＭ及ＳＴＭ技术检测了纳米Ｓｉ薄膜的微结构，纳米Ｓｉ薄膜由大量的细微Ｓｉ晶粒以及大量的晶粒间界面区组成，这一特殊的结构造成纳米Ｓｉ薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量，本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用，并认为纳米Ｓｉ薄膜材料将是一种理想的传感器材料。
纳米Si薄膜的结构及压阻效应
【摘 要】
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使用ＨＲＥＭ及ＳＴＭ技术检测了纳米Ｓｉ薄膜的微结构，纳米Ｓｉ薄膜由大量的细微Ｓｉ晶粒以及大量的晶粒间界面区组成，这一特殊的结构造成纳米Ｓｉ薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量，本文分析讨论了薄膜微结
【机 构】
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北京航空航天大学非晶态物理与光信息研究室,北京理工大学电子工程系,西安交通大学电子工程系
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1996年1期
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