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光刻技术及其新进展
光刻技术及其新进展
来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cchomonkey
【摘 要】
:
介绍了用于制作半导体集成电路的光刻工艺的概念、分类及发展过程,阐述了当前光刻工艺的主流,并重点介绍了极紫外光刻、X射线光刻、电子束光刻、离子束光刻、纳米图形转印等
【作 者】
:
刘晓莉
李霄燕
邵敏权
【机 构】
:
长春工业大学电气与电子工程学院
【出 处】
:
光机电信息
【发表日期】
:
2005年9期
【关键词】
:
光刻
集成电路
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介绍了用于制作半导体集成电路的光刻工艺的概念、分类及发展过程,阐述了当前光刻工艺的主流,并重点介绍了极紫外光刻、X射线光刻、电子束光刻、离子束光刻、纳米图形转印等下一代光刻技术的特点及其面临的挑战.
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