重结硅光电二极管

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本文提出了一种重结光电二极管结构.这种结构由一个接近表面的浅结和一个较深的结组成,这两个结可以分别有效地收集产生在接近表面的和产生在体内的光生载流子,这对于提高光电二极管从短波长到长波长光的响应都是有利的.通过对所作实验样品的光谱响应灵敏度的测量,说明重结光电二极管结构对改善光电器件的光谱响应是有效的. In this paper, a reconnection photodiode structure is proposed, which is composed of a shallow junction close to the surface and a deep junction, which can effectively collect the photogenerated light generated near the surface and generated in the body, respectively Which is beneficial to improve the response of the photodiode from short wavelength to long wavelength light.The measurement of the spectral response sensitivity of the experimental samples shows that the structure of the re-photodiode is effective to improve the spectral response of the optoelectronic device .
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