【摘 要】
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以Zn(OAC)2.2H2O和AlCl3.6H2O为原料,采用溶胶-凝胶的方法在普通玻璃片基材上获得了掺铝的氧化锌透明导电薄膜。采用XRD、SEM、以及分光光度计等分析手段对薄膜进行研究,实验
【机 构】
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西安建筑科技大学材料学院,西安建筑科技大学材料学院,西安建筑科技大学材料学院 西安710055,西安710055,西安710055
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以Zn(OAC)2.2H2O和AlCl3.6H2O为原料,采用溶胶-凝胶的方法在普通玻璃片基材上获得了掺铝的氧化锌透明导电薄膜。采用XRD、SEM、以及分光光度计等分析手段对薄膜进行研究,实验结果表明,当铝离子掺杂量为2%(wt)、预处理温度400℃、退火温度550℃下保温1h,可使所得薄膜的电阻率最低,为5×10-2Ω.cm,薄膜可见光透过率平均达80%以上。
Zn (OAC) 2.2H2O and AlCl3.6H2O were used as raw materials to obtain aluminum-doped ZnO transparent conductive films on common glass substrate by sol-gel method. The films were characterized by XRD, SEM and spectrophotometer. The experimental results showed that when the doping amount of aluminum ions is 2% (wt), the pretreatment temperature is 400 ℃ and the annealing temperature is 550 ℃ for 1h, The resulting films had the lowest resistivity of 5 × 10-2 Ω · cm and the average visible light transmission of the films was over 80%.
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