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阐述了ZnO薄膜材料的结构特点、电学性质和光学特性，详细介绍了各种制备氧化锌薄膜的方法，包括磁控溅射法、化学气相沉积法、喷雾热解法、溶胶一凝胶法、激光脉冲沉积法、分子柬外延法、原子层外延生长法。讨论并比较了各种制备方法的优缺点。
ZnO的用途及其薄膜的制备方法
【摘 要】
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阐述了ZnO薄膜材料的结构特点、电学性质和光学特性，详细介绍了各种制备氧化锌薄膜的方法，包括磁控溅射法、化学气相沉积法、喷雾热解法、溶胶一凝胶法、激光脉冲沉积法、分子
【机 构】
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天津职业大学
【出 处】
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高等职业教育(天津职业大学学报)
【发表日期】
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2006年3期
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