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期刊论文
面向半导体设备的Interface A通信方法研究
面向半导体设备的Interface A通信方法研究
来源 :机械设计与制造 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzmaazhu
【摘 要】
:
针对半导体设备工厂自动化的设备数据采集需求,给出了一种基于Interface A标准的通信方法,该方法构造了设备的通用模型,设计了设备通信的安全认证和授权机制,并给出了采集设
【作 者】
:
叶家发
刘明哲
【机 构】
:
中国科学院研究生院,中国科学院沈阳自动化研究所
【出 处】
:
机械设计与制造
【发表日期】
:
2012年5期
【关键词】
:
半导体设备
Interface A
数据采集
工厂自动化
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针对半导体设备工厂自动化的设备数据采集需求,给出了一种基于Interface A标准的通信方法,该方法构造了设备的通用模型,设计了设备通信的安全认证和授权机制,并给出了采集设备实时数据的方法,可满足工厂自动化系统对半导体设备的数据采集和设备控制需求。
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