【摘 要】
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近年来,随着社会经济的不断发展,我国的微机电系统以及机械零件制造业也获得了飞速的发展。超精密微机械制造技术的发展对于航天航空、国防工业、微电子工业以及现代医学等行
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近年来,随着社会经济的不断发展,我国的微机电系统以及机械零件制造业也获得了飞速的发展。超精密微机械制造技术的发展对于航天航空、国防工业、微电子工业以及现代医学等行业的发展具有十分重要的推动作用。但是不可忽视的是,超精密微机械制造技术在发展过程中还面临着许多问题。基于此,本文初步简单介绍了超精密机械制造技术的内涵和特点,然后分析和研究了超精密微机械制造技术的发展以及关键技术,希望对超精密微机械制造技术的发展能有所帮助。
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