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整体半导体产业正在尝试找到一种方法,不需要从硅基板转换而利用砷化铟镓（In Ga As）的更高电子迁移率,包括英特尔（Intel）与三星（Samsung）;而IBM已经展示了如何利用标准CMOS工艺技术来达成以上目标。
IBM以标准CMOS工艺打造三五族FinFET
【摘 要】
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整体半导体产业正在尝试找到一种方法,不需要从硅基板转换而利用砷化铟镓（In Ga As）的更高电子迁移率,包括英特尔（Intel）与三星（Samsung）;而IBM已经展示了如何利用标准CMOS工艺技术
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2015年8期
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