Nb5 N6 microbolometer太赫兹检测器

来源 :南京大学学报(自然科学) | 被引量 : 0次 | 上传用户：yixvmei

【摘要】

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随着太赫兹科学技术的快速发展,太赫兹检测器件的性能也在不断提高,为微弱信号的检测和太赫兹成像奠定了坚实的基础.本文针对Nb5 N6薄膜材料,研制了 Nb5 N6 microbolometer阵

【作者】

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涂学凑毛庆凯徐磊孙振龙康琳金飚兵陈健吴培亨

【机构】

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南京大学超导电子学研究所

【出处】

：

南京大学学报(自然科学)

【发表日期】

：

2014年3期

【关键词】

：

Nb5N6薄膜太赫兹检测器太赫兹成像 microbolometer microbolometer THz detector THz imaging

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随着太赫兹科学技术的快速发展,太赫兹检测器件的性能也在不断提高,为微弱信号的检测和太赫兹成像奠定了坚实的基础.本文针对Nb5 N6薄膜材料,研制了 Nb5 N6 microbolometer阵列芯片及其基于这种芯片的太赫兹准光型接收机.单个 Nb5 N6 microbolometer 的直流电压响应最高达760 V/W,对应的直流噪声等效功率（NEP）为1.3＆#215;10-11 W/√Hz.在实际系统中,由串联结构的 Nb5 N6 microbolometer构成的准光接收机,光学电压响应率高达428

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