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为了分析材料表面缺陷对声表面波传播的影响，以弹性动力学理论为基础，采用有限元方法数值模拟了声表面波沿金属表面传播及其与表面缺陷的相互作用。通过数值模拟弹性声表面波与不同深度、不同宽度的表面缺陷相互作用过程，得到了声表面波经不同表面缺陷后的反射和透射表面波波形，并对波形进行快速傅里叶变换分析。结果表明，弹性声表面波与表面缺陷相互作用后，产生反射Rayleigh波和透射Rayleigh波；随着表面缺陷深度和宽度的增加，Rayleigh波反射率相应增加，而透射率相应减小。