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超磁致伸缩执行器位移测试系统是其性能研究的基础.为提高测试数据的准确性,以常用超磁致伸缩执行器位移测试系统为基础,给出了测试系统的误差来源,建立了温升、电源、测量、采集等因素的误差模型以及多因素影响下的误差合成模型.实验与计算结果表明：所设计超磁致伸缩执行器在输出位移为18 pm时,位移采集、超磁致伸缩执行器驱 动与温升造成的相对误差分别为0.56% 、 2.83% 、3.28 %,各因素合成后的相对误差为4.37%.