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综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理,包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法。对各种传感器的特点进行了比较。
基于MEMS技术的气体传感器
【摘 要】
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综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理,包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法。对各
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2008年11期
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