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采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）旋涂法在Si（100）衬底上制备ZnO薄膜，利用X射线衍射（XRD）、光致发光谱（PL）、扫描电子显微镜（SEM）等手段分析制得的ZnO薄膜的晶体结构和发光特性。着重考察了热分解温度对ZnO薄膜晶体结构和发光特性的影响。结果表明，溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜样品厚度约为220hm，属六方纤锌矿结构，其c轴取向度与热分解温度有很大关系；ZnO薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰，且紫外带边发射峰与样品c轴取向度没有直接关系．与缺陷有关的可见发射带很弱．