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<正> 微系统工程往往被看作为大工业的一种工艺,因为目前已有的实验室样机发展为市场上有竞争能力的产品,还需要投入特别高的研究与开发经费。然而,目前集成传感器技术的部分领域,已为中小企业提供了许多机会。本篇报告指出,微技术传感器的市场何在:这些传感器必须提供何种产品的特性;
微系统工程在工业中的应用（上）
【摘 要】
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<正> 微系统工程往往被看作为大工业的一种工艺,因为目前已有的实验室样机发展为市场上有竞争能力的产品,还需要投入特别高的研究与开发经费。然而,目前集成传感器技术的部分
【出 处】
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光机电世界
【发表日期】
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1994年8期
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