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我们在玻璃衬底上用磁控溅射的方法以不同的溅射时间(15、20、25、30min)沉积了氧化钒薄膜,我们发现随着溅射时间的增加,氧化钒薄膜的红外透过率的改变量可高达58%,氧化钒薄膜的相变温度从66℃减下到50℃,从薄膜的x射线衍射图中,我们可以看出,随着溅射时间的延长,VO2(100)峰出现。