合成金刚石所用乙炔焰的构造和机理

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【摘要】

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<正> Hirose和Kondoh首次报道了用氧-乙炔(O_2-C_2H_2)焰在常压下以100～200μmh~(-1)线速度生长金刚石。乙炔焰是合成金刚石最易实现、最廉价的技术手段,并且以R≡C_2H_2/O_2=

【作者】

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张慧

【出处】

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磨料磨具与磨削

【发表日期】

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1993年2期

【关键词】

：

金刚石合成乙炔焰

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<正> Hirose和Kondoh首次报道了用氧-乙炔(O_2-C_2H_2)焰在常压下以100～200μmh~(-1)线速度生长金刚石。乙炔焰是合成金刚石最易实现、最廉价的技术手段,并且以R≡C_2H_2/O_2=1.0～1.05的流量比在斜置的SiC基板上已经沉积出高质量的光学透明晶体。为了深入了解金刚石在乙炔焰内焰区的生长机理,我们采用激光激发荧光光谱(C_2和OH)和质谱测定法(C_2H_2H_2和O-2)进行了气体分析,

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