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应用三元扩散偶技术测定了Ｎｂ－Ｔｉ－Ｓｉ三元系１３７３Ｋ的等温夫面，用电子探针微区分析的方法对Ｎｂ－Ｔｉ－Ｓｉ三元扩散偶进行分析，测得Ｎｂ－Ｔｉ－Ｓｉ三元系在１３７３Ｋ下生成ＴｉＳｉ２，ＴｉＳｉ，，Ｔｉ５Ｓｉ４，Ｔｉ５Ｓｉ３，Ｔｉ３Ｓｉ，ＮｂＳｉ２和Ｎｂ５Ｓｉ３７个扩散层，在扩散偶中未发现三元化合物。