IC用高纯试剂中金属杂质分析

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huojiantong
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对HCl,HF和HNO3三种MOS级高纯试剂中18种金属杂质用发射光谱进行分析研究,取20ml样品,加入适量甘露醇络合硼杂质,在有机玻璃防尘罩内低温挥发基体富集杂质,最后将杂质溶液转移到一对平头电极上,用电弧光谱进行测定。检测限为0.2-4.0(ng/ml),加入标准的回收率绝大部分在90%以上。
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