【摘 要】
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采用基于密度泛函理论的第一性原理的方法，对厚度为0．54～3．30nn纳米Si薄膜的电子结构、光学性质及弹性常数进行了计算。结果表明，纳米Si薄膜是直接带隙半导体材料；随着纳米Si薄膜厚
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采用基于密度泛函理论的第一性原理的方法，对厚度为0．54～3．30nn纳米Si薄膜的电子结构、光学性质及弹性常数进行了计算。结果表明，纳米Si薄膜是直接带隙半导体材料；随着纳米Si薄膜厚度的减小，带隙逐渐增大；薄膜的光学吸收边发生蓝移，吸收带出现宽化现象；弹性常数、杨氏模量和泊松比呈现尺寸效应。
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