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聚合物微透镜阵列制作及单片集成应用研究
聚合物微透镜阵列制作及单片集成应用研究
来源 :华中科技大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:jimmil
【摘 要】
:
以聚酰亚胺和聚二甲基硅氧烷两类材料为例,研究了聚合物微透镜阵列的制备工艺以及与CCD图像传感器芯片的单片集成工艺,阐述了光学聚合物用于单片集成应具有的材料性能,对热熔
【作 者】
:
赖建军
柯才军
周宏
易新建
【机 构】
:
华中科技大学
【出 处】
:
华中科技大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2004年10期
【关键词】
:
单片集成
微透镜阵列
反应离子刻蚀
CCD图像传感器
光刻胶
芯片
聚合物材料
聚酰亚胺
聚二甲基硅氧烷
制备工艺
polymer
microlens
mo
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以聚酰亚胺和聚二甲基硅氧烷两类材料为例,研究了聚合物微透镜阵列的制备工艺以及与CCD图像传感器芯片的单片集成工艺,阐述了光学聚合物用于单片集成应具有的材料性能,对热熔产生的光刻胶微透镜阵列进行反应离子刻蚀得到了这两种聚合物材料微透镜阵列.
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