【摘 要】
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利用低压化学气相沉积技术,以BCl_3-C_3H_6-H_2为反应气体制备了不同掺硼量的热解碳薄膜B_xC_（1–x）（x=0.05,0.10,0.16,0.30,0.50）,并研究了硼含量对BxC1–x微观结构及力学性能的
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院大学,上海科技大学物质科学与技术学院,东华大学分析测试中心
【基金项目】
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National Natural Science Foundation of China（51502323）, Shanghai Natural Science Foundation（14ZR1445800）, Shanghai Key Project of Basic Research（14JC1406200）, Science Foundation for Youth Scholar of S
论文部分内容阅读
利用低压化学气相沉积技术,以BCl_3-C_3H_6-H_2为反应气体制备了不同掺硼量的热解碳薄膜B_xC_（1–x）（x=0.05,0.10,0.16,0.30,0.50）,并研究了硼含量对BxC1–x微观结构及力学性能的影响。B0.1C0.9展现了高度结晶的类石墨结构,其中大部分B取代石墨层中的C。随着B含量上升,B主要形成B–C键,B_xC_（1–x）结构向无定型转变。纳米压痕测试结果显示,B0.1C0.9的弹性模量和硬度较低,载荷位移曲线显示其力学变形接近弹性变形,随着B含量增加,碳化硼生成量增加
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