涡轮导叶片表面MEMS高温测量技术

来源 :航空制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mengyangshizamao

【摘要】

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利用MEMS微制造集成技术,在航空发动机涡轮叶片表面成功地制作了薄膜高温温度传感器,攻克了叶片表面高温绝缘、曲表面光刻及高温可靠导线互联等一系列关键技术难关。对薄膜传

【作者】

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段力姬中林翁昊天李继保林宇震曹学强

【机构】

：

上海交通大学电子信息与电力工程学院,中国航发商用航空发动机有限责任公司,北京航空航天学院能源动力与工程学院,武汉理工大学材料科学与工程学院

【出处】

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航空制造技术

【发表日期】

：

2020年5期

【关键词】

：

高温温度测量航空发动机薄膜传感器原位集成曲面光刻 MEMS微制造集成技术 High temperature measurementAero-engine

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利用MEMS微制造集成技术,在航空发动机涡轮叶片表面成功地制作了薄膜高温温度传感器,攻克了叶片表面高温绝缘、曲表面光刻及高温可靠导线互联等一系列关键技术难关。对薄膜传感器及高温连线系统进行了一系列温度循环测量试验,读数可靠稳定、重复性好,并承受住了苛刻的振动冲击试验(10~2000Hz/40g的振动及8g的半正弦波冲力试验)。该涡轮叶片表面MEMS原位集成热电偶薄膜传感器也经历了温度高达1200℃的航空发动机燃动环境下燃气压力0.5MPa、热流量1.24L·J/(kg·K)的测试,获得

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