改造国产ICP进行低温刻蚀

来源 :河南机电高等专科学校学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Tongtong07
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低温刻蚀被用来进行硅微深孔加工.文中介绍了感应耦合等离子体(ICP) 刻蚀原理,通过对国产ICP进行改造,在SF6/O2气体条件下进行低温刻蚀,利用低温钝化机理控制工艺,减少器件损伤.
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