2X/Y直线进给轴直线轮廓误差的学习补偿方法

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaotian521
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为了提高2 X/Y直线进给轴的联动直线轮廓精度,研究了进给轴联动直线轮廓偏差的测量、评价和补偿方法。分析了直线电机驱动进给过程存在直线轮廓偏差的原因及其补偿的复杂性,给出一种基于学习的直线轮廓误差在线精密补偿方法。该方法通过激光干涉仪的2D时间基准精密测量龙门联动轴直线轮廓的实时坐标值,应用最小二乘方法评价确定理想直线方程;通过与理想直线比较得到直线偏差学习样本,建立基于最小二乘支持向量回归方法的直线偏差识别模型,以模型的在线回归计算确定偏差补偿量。最后给出了补偿量控制输出策略与补偿系统构建方案,并在自构
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