【摘 要】
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实验研究了多根或单根单壁碳纳米管与非对称金属电极接触结构的制作方法。先用介电泳方法（DEP）将碳纳米管定向排列在Au电极对之间,再用电子束光刻（EBL）在碳纳米管的一端加工Al电
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜和微细技术教育部重点实验室
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实验研究了多根或单根单壁碳纳米管与非对称金属电极接触结构的制作方法。先用介电泳方法（DEP）将碳纳米管定向排列在Au电极对之间,再用电子束光刻（EBL）在碳纳米管的一端加工Al电极,获得多根碳纳米管与金铝电极的非对称接触结构。先用EBL在Au电极对一端覆盖Al电极,再用DEP排列碳纳米管,实现单根碳管与金铝电极的非对称接触结构。非对称结构器件的电学测试研究表明,器件的I-V曲线不再对称,呈现出整流特性。
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