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介绍一种新型的电容式位移测量系统，其测量范围为０～２５ｍｍ，线性度优于１／１０００，分辨率为０．１μｍ。文中详细分析了该系统的工作原理，特点及主要误差因素，给出了部分实验数据。
一种高精度大位移电容式位移测量系统
【摘 要】
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介绍一种新型的电容式位移测量系统，其测量范围为０～２５ｍｍ，线性度优于１／１０００，分辨率为０．１μｍ。文中详细分析了该系统的工作原理，特点及主要误差因素，给出了部分实验数据。
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1994年3期
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