集成硅热流量传感器

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将传感器与电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小等优点,因而收到了广泛的重视.本文介绍了硅热流量传感器的基本原理及发展状况,并针对电路和传感器集成的过程中出现的问题进行了探讨,对该类传感器的设计有一定的参考价值.
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