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小型化MEMS高通滤波器研究

来源 :2017年西南三省一市(贵州、重庆、四川、云南)自动化与仪器仪表学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenmojay

【摘 要】

：

介绍了一种小型高性能的高通滤波器,该高通滤波器利用两层硅片来实现悬置带线的结构,采用立体布线和通孔的方式来接地,运用HFSS三维电磁场仿真软件设计出了一款截止频率为7.6

【作 者】

：

朱锋[1] 陶子文[1] 郁元卫[2] 朱健[2] 

【机 构】

：

南京电子器件研究所南京,210016南京电子器件研究所南京,210016;微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室南京,210016

【出 处】

：

2017年西南三省一市(贵州、重庆、四川、云南)自动化与仪器仪表学术年会

【发表日期】

：

2017年10期

【关键词】

：

高通滤波器 小型化设计 立体布线 通孔方式 

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介绍了一种小型高性能的高通滤波器,该高通滤波器利用两层硅片来实现悬置带线的结构,采用立体布线和通孔的方式来接地,运用HFSS三维电磁场仿真软件设计出了一款截止频率为7.6GHz的MEMS高通滤波器,运用MEMS工艺在两层硅衬底上进行了样品的研制.样品取得了良好的测试结果,其中通带内的插入损耗小于1.2dB,通带回波损耗小于10.9dB.

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