山·水·楼

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由于金刚石具有宽频带隙能、高击穿率等优点,且适用于高温/高氧化、高辐射等环境,具有替代压力传感器中硅基材料的潜力。然而,传统的多晶或纳米晶金刚石的晶间存在一定的杂质和应力,电导率很低。因此,本课题提出以离子注入结合化学气相沉积的方式,制备单晶金刚石,并采用ICP刻蚀与电化学刻蚀对单晶金刚石进行加工。拍摄环境为常温/高真空,借助扫描电子显微镜对制备的单晶金刚石形貌进行拍摄。图中薄膜状的条带为制备的单晶金刚石,其上的亮色条纹是沉积的金属钨。其余部分为金刚石基板腐蚀后的形貌。
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