【摘 要】
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工件台是TFT阵列基板长寸测量设备中最为核心的技术单元之一,其定位精度将直接决定最终长寸测量设备的测量精度.在运动过程中由于运动导轨加工和装配误差会使工件台产生运动
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院,上海200444;上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海201203;上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海201203;上海大学机电工程与自动化学院,上海20044
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工件台是TFT阵列基板长寸测量设备中最为核心的技术单元之一,其定位精度将直接决定最终长寸测量设备的测量精度.在运动过程中由于运动导轨加工和装配误差会使工件台产生运动误差,而这些运动误差会影响TFT阵列基板长寸测量精度.为解决上述工件台运动误差对长寸测量精度的影响,文中基于桥式结构的长寸测量设备研究分析了工件台运动误差对长寸测量精度的影响机理,设计了一种共光路多自由度激光干涉仪测量系统,给出了激光干涉仪测量系统光束结构布局及测量补偿方案.通过搭建测试平台,基于4.5代基板对比测试了工件台运动误差补偿前后的重复性及最终长寸测量重复性.试验结果表明,研究的工件台运动误差测量及补偿技术可以满足100 nm高精度运动台定位精度技术需求.
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