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提出一种新的具有高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量方法。该方法通过整形环形光式共焦测量法和锐化爱里斑主瓣，改善系统横向分辨力；通过差动共焦测量法改善系统的轴向分辨力，最终达到提高系统空间分辨能力的目的。理论分析和实验表明：整形环形光内孔归一化半径ε越大，横向分辨力改善越明显，量程扩展范围越宽；当入射光波长=λ632.8 nm，物镜数值孔径取NA=0.85，=ε0.5时，该系统的横向分辨力优于0.2μm，轴向分辨力优于2 nm。该方法为光触针测量系统空间分辨力的提高提供了1种新的方法，可广泛应用于超精密