激光尘埃粒子计数器微型光学传感器的研究

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研制成功便携式激光尘埃粒子计数器的核心部件———微型光学传感器。该传感器采用直角散射光收集形式,以高功率半导体激光器作为光源,同时采用高性能的PIN型光电二极管作为光电探测器。散射光收集系统为单一大数值孔径的球面反射镜,其对粒子散射光的收集角范围从20°到160°。粒子散射光信号是脉冲信号,其频谱成份主要在高频段,所以在PIN型光电二极管后用一个带通式前置放大器来消除外界的低频噪声,根据米氏散射理论计算了该光学传感器的光散射响应特性,并用聚苯乙烯标准粒子实测了该光学传感器的性能。结果表明,该系统具有高的信噪比、计数效率和尺寸分辨本领。 The successful development of portable laser particle counter particle core components - micro-optical sensors. The sensor uses a right-angle scattered light collection form, with high-power semiconductor laser as a light source, while using high-performance PIN-type photodiode as a photodetector. The scattered light collection system is a single, large numerical aperture spherical mirror with a collection angle for scattered light from 20 ° to 160 °. Particle scattering optical signal is a pulse signal whose spectral content is mainly in the high frequency band. Therefore, a PIN-type preamplifier is used to eliminate the low frequency noise outside the PIN type photodiode. The light of the optical sensor is calculated according to the Mie scattering theory Scattering response characteristics, and polystyrene standard particles measured the optical sensor performance. The results show that the system has high signal to noise ratio, counting efficiency and size resolution.
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