【摘 要】
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<正>精密、超精密以及纳米定位平台及其控制技术是微机电系统、微细加工、微操作与微装配、超大规模集成电路、精密、超精密加工及精密测量等领域的关键技术,定位过程中的大
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<正>精密、超精密以及纳米定位平台及其控制技术是微机电系统、微细加工、微操作与微装配、超大规模集成电路、精密、超精密加工及精密测量等领域的关键技术,定位过程中的大行程、高分辨、高精度、强实时等要求是其亟待解决的问题。宏微两级精密定位平台技术采用宏、微两级运动相结合的控制方式,具有行程长、响应快、定位精度高等优势,是上述问题的有效解决方案;定位过程的大行程宏运动一般采用旋转伺服电机结合精密滚珠丝杠或直线电机直接驱
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