GaN光电阴极测试与评估技术研究

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kel002
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GaN光电阴极的制备成功与否需用科学手段加以评估。在GaAs光电阴极多信息量测试系统的基础上, 增设紫外光源, 并对评估软件重新加以编写, 设计出GaN光电阴极测试评估系统。利用该系统测试了GaN光电阴极在制备过程中的Cs源电流、O源电流、光电流和激活室真空度等多个信息量, 并利用激活后的光谱响应对阴极进行了评估, 实现了对GaN光电阴极性能的客观评价。
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期刊
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