中心距10μm截止波长2.6μm的延伸波长InGaAs焦平面探测器

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xinliping

【摘要】

：

采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式,研制了像元中心距为10μm、截止波长2.6μm的p-i-n型10×10元延伸波长InGaAs探测器.不同温度

【作者】

：

何玮李平邵秀梅曹高奇于一榛张亚光邓双燕杨波李

【机构】

：

中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院大学,复旦大学

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2018年6期

【关键词】

：

延伸波长 INGAAS探测器小像元暗电流密度量子效率 extended wavelengthInGaAs detectorsmall pixeldark

【基金项目】

：

the National Key R&D Program of China(2016YFB0402401),National Natural Science Foundation of China(61376052,61475179,61604159).

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式,研制了像元中心距为10μm、截止波长2.6μm的p-i-n型10×10元延伸波长InGaAs探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析,显示了器件优异的暗电流特性.在室温下,-10 mV偏压时器件的暗电流和优质因子R0A分别为0.45 nA和14.7Ω·cm 2,量子效率可达到63%.为了证实像元中心距减小并未影响器件性能,与同种材料中心距30μm的InGaAs焦平面阵

其他文献

基于内容的文本模糊检索技术研究

分析研究了基于内容的文本模糊检索技术,提出了一种基于文本组块内容含义检索技术,最终实现模糊检索的技术。通过对文本结构的划分,建立了基于隐藏马尔可夫模型的解决方案。

期刊

内容检索隐马尔可夫模型文本结构划分特征抽取规则建立

基于P2P技术的个人数字图书馆资源共享策略

结合个人数字图书馆的发展特征,采用P2P技术将分散的个人数字图书馆互联,形成分布式的个人数字图书馆信息资源共享网络,探索个人数字图书馆中数字资源的有效共享机制。

期刊

个人数字图书馆P2P技术个人信息管理个人知识管理资源共享NDP2PSim

略论我国政府信息公开文化的转变与构建

政府信息公开的实现有赖于建立健全完备的政府信息公开法律制度和构建民主、透明、参与的公开性文化氛围。实践证明,基于政府和公民两个维度之上的良好公开文化是政府信息公

期刊

政府信息公开文化转变与构建

A Model for Cu-Se Resonant Tunneling Diodes Fabricated by Negative Template Assisted Electrodepositi

In this paper, the authors present and discuss a model for Cu-Se nano resonant tunneling diodes (RTDs) fabricated by negative template assisted electrodepositio

期刊

track-etchmembraneTEMPLATEsynthesisCu-SeresonantTUNNELINGdiodesELECTRODE

基于群体网络行为的用户聚合分析

聚合用户形成用户群，以用户群的方式提供个性化服务是目前保证个性化服务质量和效率的关键。首先分析了个性化服务从“信息聚合”到“用户聚合”的必然转变以及基于群体网路行

期刊

群体网络行为用户群聚合

手机图书馆：理念、模式与策略

手机图书馆是运用数字移动通信技术将数字图书馆服务延伸到手机客户端，增加与读者互动，扩大图书馆外延服务的一种新途径。具有内容与载体分离，形式多样，可移动阅读，方便快捷等特质

期刊

手机图书馆服务模式建设策略

跳车质量对实测自振频率影响的修正

对三等跨连续梁跳车试验的分析发现,试验载重车附加质量会影响桥梁自振频率的测定结果。采用瑞利法假定跳车试验形函数,引入修正系数λ,提出了三等跨连续梁实测自振频率的修

期刊

跳车试验附加质量自振频率

污泥龄对A~2/O工艺脱氮除磷的影响分析

回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

期刊

污泥龄A2/O工艺脱氮除磷

一种面向主题的链接评价算法

在对PageRank算法和主题链接分析的基础上,提出了一种面向主题的链接评价算法TL-PageRank,该算法以“主题随机冲浪”模型为基础,同时利用网页主题分布特性和网页之间相互引用

期刊

链接评价权威值爬行PAGERANK

短波红外InGaAs线性焦平面数字化输出研究

提出了一种适用于短波红外铟镓砷线性焦平面的数字化输出研究.针对实验室自主研制出的短波红外256×1铟镓砷焦平面,结合SAR ADC的基本原理,以高分辨率、低功耗、小面积为

期刊

短波红外线列256×1铟镓砷焦平面模数转化器逐次逼近short-wave infrared256×1 InGaAs FPAADCsu

中心距10μm截止波长2.6μm的延伸波长InGaAs焦平面探测器

与本文相关的学术论文