【摘 要】
：
微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件动态特性的高速可视化.介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试
【机 构】
：
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
论文部分内容阅读
微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件动态特性的高速可视化.介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统,用来测量可动MEMS器件的离面运动,实现了纳米级分辨力.该系统采用改进的相移干涉算法,使用一个大功率激光二极管(LD)作为频闪照明的光源,可以实现1 MHz范围内大幅值(十几微米)的微运动测量.这种高离面灵敏度的测量方法特别适合进行微机械(光学)元件的动态特性测量.通过研究一个多晶硅微谐振器的动态特性说明了系统的强大功能.
其他文献
巧克力作为一种休闲食品,以其细腻的口感和独特的口味而广泛受到消费者的青睐。然而,近几年来关于巧克力掺假的报道不断涌入人们的视野。其中,以廉价淀粉掺假巧克力的手段最
经济全球化浪潮使标准竞争上升到战略地位,尤其是进入21世纪之后,发达国家纷纷制定各自的标准化发展战略。我国正处在重要的历史发展机遇期,面对国际形势和国内发展对标注准
建立深海载人平台空调舱室传热过程的数学模型和Matlab仿真程序,分析典型航行工况下舱室隔热层厚度、空调设计风量及开启时长、舱内平均风速和舱内蓄热体蓄热能力4方面因素对
日光温室甘蓝病虫害少、品质佳,栽培管理技术相对简单。冀中地区日光温室甘蓝主要在秋末或初冬栽培,12月至翌年1月上市,经济效益较高。
中国加入WTO后,国际经济政治环境对我国的发展产生越来越大的影响,加上全球老龄化的到来,所以亟需加强对医疗保险制度的改革。建立和完善医疗保险制度关系着广大人民的切身利
银行业是金融资源高度集中的行业，也是各类金融案件高发的重要窗口之一。为此,加强银行业廉政文化建设,在净化心灵、规范行为、建树形象等方面具有积极作用。对于基层农行从目
近两年,三农电商虽然稳步增长,产业链日趋完善,生态圈成熟稳定,但同时也面临基础条件落后、缺乏配套服务、缺乏专业技术人才等问题。本文分析了三农电商人才现状及培养模式。
崇左市作为广西最年轻的地级市，2003年建市时，全市只有3个县（市）通过省级“两基”验收。该市从全面构建社会主义和谐社会、实现教育均衡发展的战略高度，举全市之力推进“普九”攻
本文通过对比高中人教版的教材和大学无机化学的内容,探究在教学中如何使大学无机化学与高中化学有效衔接,以达到提高教学效果,为社会培养应用型人才的目的。
【正】 整存整取定期储蓄计息法整存整取定期储蓄在银行全部储蓄存款中占有很大比重,是银行一种主要的储蓄种类。它的特点是:本金一次存入,约定存期,到期一次支取本金;利息根