【摘 要】
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应用多弧离子镀膜技术在65Mn钢基体上制备CrN薄膜,通过Nanohardness-tester、SEM、EDX和XRD测试分析了薄膜的硬度、厚度、成分结构和表面形貌。得到薄膜的最高硬度为24GPa,最
【机 构】
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应用多弧离子镀膜技术在65Mn钢基体上制备CrN薄膜,通过Nanohardness-tester、SEM、EDX和XRD测试分析了薄膜的硬度、厚度、成分结构和表面形貌。得到薄膜的最高硬度为24GPa,最大厚度为2.06μm。通过正交实验分析得到各因素对薄膜硬度影响程度的主次顺序是:偏压、氮气、氩气、弧流,对薄膜厚度影响程度的主次顺序是:弧流、氮气、偏压、氩气。
CrN thin films were prepared on 65Mn steel substrate by multi-arc ion plating technique. The hardness, thickness, composition and surface morphology of the films were analyzed by Nanohardness-tester, SEM, EDX and XRD. The maximum hardness of the obtained film was 24 GPa, and the maximum thickness was 2.06 μm. The order of primary and secondary factors that influence the degree of film hardness by orthogonal experiment is as follows: order of bias, nitrogen, argon, arc current, and order of influence on film thickness: arc flow, nitrogen, bias, argon gas.
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