【摘 要】
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研制了一种激光单光点式三角法测头，以半导体激光器作光源，位置敏感压件（ＰＳＤ）为光电转换器件．测头的测量分辨率２μｍ，测量范围１０ｍｍ．适于对工件、模型表面轮廓或位移量进行快速在线测量．对测头结
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研制了一种激光单光点式三角法测头，以半导体激光器作光源，位置敏感压件（ＰＳＤ）为光电转换器件．测头的测量分辨率２μｍ，测量范围１０ｍｍ．适于对工件、模型表面轮廓或位移量进行快速在线测量．对测头结构进行了优化分析，对牙模型的三维形貌进行了实测．
A laser single point trigonometric touch probe is developed, which uses semiconductor laser as light source and position sensitive pressure part (PSD) as photoelectric conversion device. Measuring probe resolution 2μm, measuring range 10mm. Suitable for rapid on-line measurement of workpiece, model surface contour or displacement. The structure of the probe was optimized and the three-dimensional topography of the tooth model was measured.
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