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本文介绍了几种玻璃钝化的材料和附着玻璃膜的方法。特别论述硅器件玻璃钝化的原理和工艺流程。在文章中还给出国内外玻璃钝化的发展状况。
硅器件玻璃钝化
【摘 要】
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本文介绍了几种玻璃钝化的材料和附着玻璃膜的方法。特别论述硅器件玻璃钝化的原理和工艺流程。在文章中还给出国内外玻璃钝化的发展状况。
【出 处】
：
沈阳机电学院学报
【发表日期】
：
1984年03期
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